東京精密結(jié)合了自身領(lǐng)先的精密測量技術(shù)及半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)、為充分滿足各種加工工藝的要求，推出了最尖端的300mm量產(chǎn)型CMP 設(shè)備（ ChaMP 系列）。
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